适用于显微扫描仪的电动载物台及显微扫描仪
授权
摘要
本实用新型提供了一种适用于显微扫描仪的电动载物台显微扫描仪，包括：基板，所述基板两侧设有X轴导轨；X轴移动模块，所述X轴移动模块能够在所述X轴导轨上移动，所述X轴移动模块的两侧设有Y轴导轨，所述X轴导轨和所述Y轴导轨相互垂直；Y轴移动模块，所述Y轴移动模块能够在所述Y轴导轨上移动；托盘模块，所述托盘模块位于所述Y轴移动模块上，所述托盘模块与所述Y轴移动模块紧固连接；所述X轴移动模块采用直线电机的驱动方式进行驱动；所述Y轴移动模块采用精密滚珠丝杠驱动方式进行驱动。本实用新型定位精准，稳定性好，可更好支持自动上片等过程横向负载。
基本信息
专利标题 ：
适用于显微扫描仪的电动载物台及显微扫描仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020812383.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-15
授权号 ：
CN212009140U
授权日 ：
2020-11-24
发明人 ：
谷朝臣秦万国程昊吴开杰谷朝榜
申请人 ：
嘉兴谱鉴精密仪器有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市平湖市经济技术开发区新兴二路988号7号楼103室
代理机构 ：
上海段和段律师事务所
代理人 ：
李佳俊
优先权 ：
CN202020812383.3
主分类号 ：
G02B21/34
IPC分类号 ：
G02B21/34 G02B21/00 G02B21/33 G02B21/36
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
G02B21/34
显微镜载物片，例如，在载物片上安装试样
法律状态
2020-11-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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