一种用于玻璃基微流控芯片的激光键合设备
授权
摘要
本发明公开了一种用于玻璃基微流控芯片的激光键合设备，机架采用大理石防震平台，飞秒激光器放置在所述大理石防震平台顶层一侧，在所述飞秒激光器出光口后顺序安装各级反射镜，扩束镜置于第二、三所述反射镜之间；聚焦镜通过连接件安装在所述大理石防震平台的正面的Z轴上，使得激光束通过各级所述反射镜改变路径垂直聚焦于工作平面，CCD相机垂直安装在Z轴位置；直线电机运动系统安装在所述大理石防震平台第二平面，其上安装真空吸附治具。
基本信息
专利标题 ：
一种用于玻璃基微流控芯片的激光键合设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020813866.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-15
授权号 ：
CN212915711U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
赵映龙涂兴刘雪梅何俊良
申请人 ：
北京隆庆智能激光装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区经海三路139号院1号楼C座1层101室
代理机构 ：
北京世誉鑫诚专利代理有限公司
代理人 ：
郭官厚
优先权 ：
CN202020813866.5
主分类号 ：
B01L3/00
IPC分类号 ：
B01L3/00 C03C23/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01L
通用化学或物理实验室设备
B01L3/00
实验室用的容器或器皿，如实验室玻璃仪器；点滴器
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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