一种陶瓷包裹式弧头装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型属于电弧离子镀技术领域,具体涉及一种陶瓷包裹式弧头装置,包括阴极、屏蔽组件、安装板,阴极固定在安装板上;阴极远离安装板的一端端面固定有靶材;屏蔽组件包括与阴极端面固定连接的连接垫板,连接垫板内、外侧分别设有靶屏蔽环和阴极屏蔽环,连接垫板远离阴极组件的一侧端面上固定连接有屏蔽板;靶屏蔽环的两端分别抵接阴极端面和屏蔽板;阴极屏蔽环的一端端面抵接屏蔽板;屏蔽板远离连接垫板的一侧端面不低于靶材外端面的高度;靶屏蔽环、阴极屏蔽环、屏蔽板均为陶瓷绝缘件。陶瓷全包覆阴极的弧头装置有效的实现弧光放电中的阴极体全屏蔽,可以减少跑弧现象,特别是对于一些异常放电的材料,极大地提升了放电的稳定性。

基本信息
专利标题 :
一种陶瓷包裹式弧头装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020819657.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-15
授权号 :
CN212505041U
授权日 :
2021-02-09
发明人 :
朱豪威郎文昌赵嘉豪钟一骅
申请人 :
温州职业技术学院
申请人地址 :
浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器
代理机构 :
温州名创知识产权代理有限公司
代理人 :
程嘉炜
优先权 :
CN202020819657.1
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-01-21 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/32
登记生效日 : 20220107
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 温州职业技术学院
变更后权利人 : 贝普医疗科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 325000 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器
变更后权利人 : 325000 浙江省温州市龙湾区永兴街道兴吉路14号
2021-02-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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