一种准单晶硅片的无尘清洗装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种准单晶硅片的无尘清洗装置,包括底座箱、清洗箱、传输带、支撑杆、固定机构和拆卸机构,所述支撑杆的一侧设置有支撑板,所述支撑板的一侧表面固定连接有安装板,所述固定机构位于安装板的一侧,所述固定机构包括固定夹板,所述安装板的一侧表面开设有安装槽,所述固定夹板与安装槽的间隙处连接有第一弹簧;本实用新型通过设置的固定夹板,有效避免了不能固定住待清洗单晶硅片,有利于待清洗单晶硅片无死角清洗,大大提高了装置的清洗效果,通过设置的连接板,有效避免了装置上的喷头长时间使用发生损坏需要拆卸时,拆卸过程繁琐,有利于便捷安装、拆卸,大大提高了工作人员的工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种准单晶硅片的无尘清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020823483.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-15
授权号 :
CN212349657U
授权日 :
2021-01-15
发明人 :
盛德生卜延青王丽华韩春蕾张婷
申请人 :
连云港市质量技术综合检验检测中心
申请人地址 :
江苏省连云港市海州区科教园区振华东路(灵山路口)
代理机构 :
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
刘刚
优先权 :
CN202020823483.6
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2021-01-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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