本实用新型涉及材料制备领域，公开了一种真空混料装置，包括真空容器、容纳于真空容器内的混料容器和沉积容器、用于调整混料容器内温度的混料加热组件及用于调整沉积容器内温度的沉积加热组件。混料容器上开设的第一开口正对且连通沉积容器上开设的第二开口，混料容器能转动运行，以搅拌混料腔内的物料，沉积容器也能够转动运行且真空腔、混料腔、沉积腔的内壁为石英或氮化硅材质，能避免二次污染。本实用新型在真空状态下混合物料保证了混合的纯净度，而且其能够进行常温下固体物料的混合，也能在混料加热组件的加热条件下进行熔融状态的物料的混合，还能利用沉积容器进行气体状态物料的混合及沉积收集，混料方式多样，能够满足不同混匀需求。