基于双悬空结构的可调红外热辐射器件
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摘要
本实用新型公开了一种基于双悬空结构的可调红外热辐射器件,包括下层悬空结构和上层悬空结构;下层悬空结构自下而上依次包括基底、下层支撑层、下层加热层、下层导电层;所述的上层悬空结构自下而上依次包括上层支撑层、上层绝缘层、上层导电层、上层半导体微纳结构,或者依次包括上层支撑层、上层绝缘层、上层金属微纳结构;通过调节下层悬空结构的温度,调节可调红外热辐射器件的黑体辐射背景谱线,通过加电压控制上下层导电层之间的静电力,影响其形变程度,从而推动上层悬空结构靠近或者远离下层悬空结构,改变上层空气间隙,进而改变微纳结构的辐射波长以及辐射强度,可以在低功耗状态下,实现波长调谐及强度调制等功能。
基本信息
专利标题 :
基于双悬空结构的可调红外热辐射器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020840698.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-19
授权号 :
CN212321428U
授权日 :
2021-01-08
发明人 :
何赛灵郭庭彪贺楠
申请人 :
浙江大学
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 :
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 :
林松海
优先权 :
CN202020840698.9
主分类号 :
G01N21/35
IPC分类号 :
G01N21/35 G01N21/3504 G01N21/01 B81B7/04 B81B7/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色;光谱性质,即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
G01N21/31
测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应,例如原子吸收光谱术
G01N21/35
利用红外光
法律状态
2021-01-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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