一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备
授权
摘要
本实用新型源液蒸发柜领域，尤其涉及一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，包括：柜体，设置在柜体中的缓冲罐、源液罐、蒸发器、真空发生器，若干输出管阀和扫吹管阀，以及设置在柜体外壳体上的微控制器；采用本实用新型，源液罐配合缓冲罐实现了带源蒸发柜的应用，并且通过缓冲罐实现了源液罐的在线更换；源液罐与缓冲罐出液端设有液体流量计，手动隔膜阀后段设置有气体流量计，配合微控制器，实现信息的数据化采集，并信号控制真空发生器与蒸发器，显示操作的信息化与自动化。
基本信息
专利标题 ：
一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020841222.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-19
授权号 ：
CN212881057U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
郑少宾可建聂庆庆梁显宁
申请人 ：
深圳融科半导体装备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区宝龙街道锦龙二路5号阳光科技园E-4栋
代理机构 ：
重庆百润洪知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈锋
优先权 ：
CN202020841222.7
主分类号 ：
B01D1/00
IPC分类号 ：
B01D1/00 B01D1/30
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D1/00
蒸发
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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