一种晶圆加工用切削液分级优化设备
授权
摘要
本实用新型涉及过滤装置技术领域，且公开了一种晶圆加工用切削液分级优化设备，包括过滤箱本体，所述过滤箱本体上表面固定连接有进料斗，所述过滤箱本体右侧外表面顶部活动连接有过滤外壳一，所述过滤外壳一内部的放置槽内活动连接有过滤内壳，所述过滤内壳的前侧下端设置有筛动装置，所述过滤外壳一前侧表面设置有抽拉装置，所述过滤箱本体右侧外表面活动连接有过滤外壳二。该一种晶圆加工用切削液分级优化设备使用时，操作人员将带有晶圆碎片的切削液废液倒入进料斗内，可以将不同大小的晶圆碎片都可以收集起来有效地避免了资源的浪费，这样可以二次对切削液的使用，避免了丢弃废液对环境造成污染。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆加工用切削液分级优化设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020860659.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-20
授权号 ：
CN212662863U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
张静娜常小燕
申请人 ：
新郑市宝德高技术有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市新郑市城关镇非公有制园区（禄兴公司院内）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020860659.5
主分类号 ：
B01D29/58
IPC分类号 ：
B01D29/58 B01D29/96
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D29/00
不包括在组B01D24/00至B01D27/00中的过滤期间过滤元件不动的过滤器，例如压滤器或吸滤器；其过滤元件
B01D29/50
带有以相互布置为特征的多个过滤元件的
B01D29/56
串联连接的
B01D29/58
同心或同轴的
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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