一种环形激光器充排气装置
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摘要
本实用新型涉及环形激光器制造领域，具体涉及一种环形激光器充排气装置。包括电容薄膜规，高真空挡板阀1，高真空挡板阀2，高真空挡板阀3，环形激光器，电离规，真空排气系统，手动微调阀，混合气体供应装置，充气阳极，排气阳极。其中，真空排气系统与电离规连接，电离规与高真空挡板阀2连接，高真空挡板阀2与排气阳极连接，排气阳极连接在谐振腔阳极口上，充气阳极连接在谐振腔另一阳极口上，充气阳极与高真空挡板阀1连接，高真空挡板阀1与电容薄膜规连接，电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接，手动微调阀与混合气体供应装置连接。本实用新型充排气管路各自独立，避免了污染物在充注气体时被气体带回环形激光器的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种环形激光器充排气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020866038.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-22
授权号 ：
CN212136883U
授权日 ：
2020-12-11
发明人 ：
郭学永
申请人 ：
郭学永
申请人地址 ：
北京市丰台区东铁匠营街道宋家庄家园3区4号楼1903
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020866038.8
主分类号 ：
H01S3/083
IPC分类号 ：
H01S3/083
法律状态
2020-12-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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