一种快速工作台机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种快速工作台机构，包括：支撑平台、水平移动台、运行轨道、安装座、旋转吸盘、连接件和举升装置，运行轨道沿支撑平台的长度方向设于支撑平台的上表面，水平移动台的一端可滑动地安装于滑动轨道上，水平移动台的另一端安装有一安装座，安装座沿竖直方向贯穿地设置有一容置空间，连接件可转动地设于容置空间内，旋转吸盘设于连接件的上端，举升装置安装于安装座的下部，连接件在举升装置的驱动下沿竖直方向运行。通过对本实用新型的应用，使半导体产品可通过上述的快速工作台机构移动至相应的位置，使得产品上的每一个点位均可被检测到，大大提高了检测的精确度，在实际使用的过程中效率可提高近1/3，同时工作过程稳定可靠。
基本信息
专利标题 ：
一种快速工作台机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020876941.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-22
授权号 ：
CN212517149U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
张旭东徐晓明丁马俊
申请人 ：
嘉兴微拓电子科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路18号
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
俞涤炯
优先权 ：
CN202020876941.2
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/687 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
