压电换能器以及流体喷射装置
授权
摘要

本公开的实施例涉及压电换能器以及流体喷射装置。压电换能器包括半导体本体,该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口,压电元件的一部分通过第一开口暴露,并且底部电极的一部分通过第二开口暴露。在第一保护层上以及在第一和第二开口内的导电层被图案化以形成:在第一开口处与压电元件电接触的顶部电极、与顶部电极电接触的第一偏置条带、以及在第二开口处与底部电极电接触的第二偏置条带。通过所公开的实施例,可以有利地避免对顶部电极的完整性的破坏,而且可以避免压电元件经受不期望的热预算。

基本信息
专利标题 :
压电换能器以及流体喷射装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020878400.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-22
授权号 :
CN212182361U
授权日 :
2020-12-18
发明人 :
D·阿斯萨内利I·马蒂尼L·文奇盖拉C·M·拉扎里P·费拉里尼
申请人 :
意法半导体股份有限公司
申请人地址 :
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 :
北京市金杜律师事务所
代理人 :
董莘
优先权 :
CN202020878400.3
主分类号 :
H01L41/047
IPC分类号 :
H01L41/047  H01L41/09  H01L41/29  B05B17/06  
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法律状态
2020-12-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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