坩埚清洗激光装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种坩埚清洗激光装置，包括操作箱、激光清洗机，其中激光清洗机包括激光器、准直镜和振镜，向操作箱内通入惰性气体，激光器输出的激光通过光纤传输到准直镜，经准直镜准直后再入射到振镜，当振镜输出的扫描光束照射在待清洗的坩埚上，完成自动清洗。采用物理方法去除坩埚表面的污垢，不消耗化学物品，无废水产生，环境友好；可以通过对激光波长、功率、频率、脉宽和光斑的控制，使激光能量密度小于坩埚的损伤阈值，不会导致对坩埚破坏。

基本信息

专利标题：

坩埚清洗激光装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020888991.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-25

授权号：

CN212760123U

授权日：

2021-03-23

发明人：

潘淑娣刘建华葛晓辉孔伟金钟德高伍子豪郭祥井朱庄齐

申请人：

青岛大学

申请人地址：

山东省青岛市崂山区香港东路7号

代理机构：

青岛高晓专利事务所(普通合伙)

代理人：

付丽丽

优先权：

CN202020888991.2

主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B7/00 B08B13/00