本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆压紧机构，包括压紧轴体、座体和连接于座体的第一驱动装置，座体固定连接在晶圆磨边机的机架上，压紧轴体与加工主轴同轴设置，且压紧轴体位于加工主轴的上方，压紧轴体转动连接于第一驱动装置，第一驱动装置驱动压紧轴体沿其轴向运动以靠近或远离加工主轴，以压紧或释放加工主轴上的晶圆，当压紧轴体将晶圆压紧于加工主轴，压紧轴体还可相对第一驱动装置转动，以便跟随主轴旋转，在加工主轴旋转后无需再重新压紧定位，减少了生产步骤，提升生产效率。