本实用新型公开了一种废水循环回用为工业超纯水的处理装置，所述罐体的侧表面设有还原剂投入口，所述罐体的侧表面连接有进水管A，所述进水管B的下端连接有还原箱，所述还原箱的内表面均匀设有紫外灯，所述还原箱与罐体之间通过连接管连接，所述连接管中间设有控制阀，所述罐体的侧表面下端设有出水管，所述罐体内表面设有氧化还原电位计，对同时含有臭氧和双氧水的超纯水，通过紫外灯用特定波长的紫外波进行催化还原超纯水中的臭氧，再投加还原剂还原双氧水，处理水中残留的氧化剂再通过活性炭过滤箱催化分解，使得出水中氧化还原电位最低，超纯水中残留的氧化剂再通过活性炭过滤箱进行催化分解，再进行排出。