一种表面涂覆设备
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摘要

本实用新型公开了一种表面涂覆设备,所述表面涂覆设备包括纳米颗粒气溶胶制备装置、真空样品腔、样品多轴联动平台;所述纳米颗粒气溶胶制备装置包括纳米颗粒气溶胶制备腔以及与所述制备腔连接的涂覆部件;所述真空样品腔,设有涂覆部件连接孔;所述样品多轴联动平台,置于所述真空样品腔内部,所述样品多轴联动平台与样品台相连;所述涂覆部件穿过所述涂覆部件连接孔伸入所述真空样品腔内至所述样品所在位置。该技术可替代目前的电镀、化学镀、物理气相沉积、化学气相沉积等传统涂覆工艺,可使用任意材料的纳米气溶胶对任意形状、尺寸和结构的样品表面进行涂覆,操作简单、易实现,且具有非常广泛的普适性。

基本信息
专利标题 :
一种表面涂覆设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020907990.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-26
授权号 :
CN212883182U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
张昱刘强高健崔成强叶怀宇张国旗
申请人 :
深圳第三代半导体研究院
申请人地址 :
广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1088号台州楼
代理机构 :
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 :
刘敦枫
优先权 :
CN202020907990.8
主分类号 :
B05B16/20
IPC分类号 :
B05B16/20  B05B13/02  B05D3/04  B05D3/02  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B16/00
喷漆室
B05B16/20
与其他操作相结合的喷射装置,如烘干;实现喷涂操作的结合的装置
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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