一种氮化硅生产用气体提纯系统
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摘要
本实用新型公开了一种氮化硅生产用气体提纯系统，包括依次串联的除氧器、换热器、冷干机、汽水分离器和干燥塔，所述除氧器不少于两组且依次串联，每组除氧器的进气管道内分别串接氧含量分析仪和流量计，每组除氧器的进气管道通过三通管接入支管，所述支管内串接调速阀和流量计，所述除氧器的排气管与换热器的热管连通，所述干燥塔的排气管与换热器的冷管连通，所述干燥塔至少为两组，且两组干燥塔并联布置，两组干燥塔的进气口处分别设置阀门，两组干燥塔的出气口处分别设置单向阀，所述干燥塔内部设置加热部件和换热管，本氮化硅生产用气体提纯系统通过合理换热，提升热能利用率，降低设备能耗。
基本信息
专利标题 ：
一种氮化硅生产用气体提纯系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020909639.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-26
授权号 ：
CN212246224U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
贾钰浦王泽坤王南园
申请人 ：
河南锐鑫同创高新材料科技有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市上街区金屏路48号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
卓邦荣
优先权 ：
CN202020909639.2
主分类号 ：
C01B21/04
IPC分类号 ：
C01B21/04 C01B21/068 B01D53/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B21/00
氮；其化合物
C01B21/04
氮的净化或分离
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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