一种MEMS电容式开关
授权
摘要
本实用新型提供了一种MEMS电容式开关，包括衬底，设置于衬底表面的介质层、通过锚点架设在介质层上方的金属梁、设置于介质层表面并与金属梁相对的有效电极、设置于有效电极周侧的驱动电极以及设置于驱动电极和金属梁之间的介质柱，介质柱为柔性材质。本实用新型的金属梁在静电力作用下被拉至有效电容运动的过程中，碰到介质柱，由于介质柱为柔性材质，介质柱会被压缩，从而使得金属梁下表面与有效电容的上表面完全接触，提高了关态电容。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS电容式开关
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020917609.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-26
授权号 ：
CN212587408U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
孔令成朱雁青王超李杨
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
龙丹丹
优先权 ：
CN202020917609.6
主分类号 ：
H01H36/00
IPC分类号 ：
H01H36/00 B81B3/00 B81B7/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01H
电开关；继电器；选择器；紧急保护装置
H01H36/00
由电场或磁场的变化操作的开关，如用改变开关和磁体的相对位置，用屏蔽作用操作的开关
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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