一种带有摩擦预警的烘烤装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种带有摩擦预警的烘烤装置,用于对基板进行烘烤,包括热盘和可升降的支撑组件,支撑组件的一端用于穿过热盘并对基板进行支撑,且支撑组件在升降过程中带动基板朝向或远离热盘移动,还包括检测装置,检测装置的一端与支撑组件电连接,检测装置的另一端与热盘电连接,当支撑组件与热盘接触时,检测装置、支撑组件和热盘导通形成回路,本实用新型提供的带有摩擦预警的烘烤装置,当基板支架长时间上下升降时顶针会发生偏位及弯曲的现象,进而通过该装置可以及时检测到基板支架是否与热盘发生接触,以使烘烤装置停止工作,避免了接触后金属屑内部的粉尘会污染基板,进而影响基板生产品质的问题。

基本信息
专利标题 :
一种带有摩擦预警的烘烤装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020925447.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-27
授权号 :
CN211905912U
授权日 :
2020-11-10
发明人 :
肖锋
申请人 :
成都中电熊猫显示科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
文小莉
优先权 :
CN202020925447.0
主分类号 :
G02F1/13
IPC分类号 :
G02F1/13  F26B9/06  F26B23/06  F26B25/00  F26B25/06  B05D3/02  G01R19/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如转换、选通、调制或解调,上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的;用于上述操作的技术或工艺;变频;非线性光学;光学逻辑元件;光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如,转换、选通或调制;非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/13
基于液晶的,例如单位液晶显示单元
法律状态
2020-11-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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