本实用新型涉及轴承加工设备技术领域，尤其是一种超精机的振动机构，包括安装座、振动座，安装座与振动座之间通过弹性体连接，在安装座上固定直线伺服电机的线圈部分，在振动座的上端设置有直线伺服电机的磁板部分，磁板部分与线圈部分相互对应且存在间隙，在振动座上设置有竖直方向的滑轨，在滑轨上设置有油石座，在油石座上设置有油石压板，油石座和油石压板之间设置油石，在油石座上方的振动座上固定有压紧气缸，压紧气缸的伸缩端与油石座连接。本实用新型所得到的一种超精机的振动机构，采用直线伺服电机作为动力源，其工作过程中噪声小、并采用非接触式，振动过程中无需轨道设计，避免磨损，另外还解决了轴承滚子凸度的要求。