一种双泵500管径的升华仪
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摘要
本实用新型公开了一种双泵500管径的升华仪，包括十温区加热炉、柜体、进气端法兰管、观察口、质量流量计、温控器、真空控制器、抽气端法兰管、触摸屏、散热风扇、第一机械泵、第一气动挡板阀、第一分子泵、第一电离规、第一双层冷阱、第一粗抽管道、第一细抽管道、第一插板阀、第二气动挡板阀、第三气动挡板阀、第一电阻规、进气阀、石英管、第四气动挡板阀、第二电阻规、第五气动挡板阀、第二插板阀、第二双层冷阱、第二电离规、第二分子泵、第二机械泵、第六气动挡板阀、第二粗抽管道、第二细抽管道、电动拉杆、第一热电偶、第二热电偶、第三热电偶和第四热电偶；本实用新型是采用双向真空系统，依据增大石英管的腔体直径来提升载料量。
基本信息
专利标题 ：
一种双泵500管径的升华仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020940351.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-29
授权号 ：
CN212594082U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
孔令杰李晓丽杜希文
申请人 ：
安徽贝意克智能科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市肥西县桃花工业园拓展区创新大道与繁华大道交叉口工投立恒广场二期A12栋第9层
代理机构 ：
合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩立峰
优先权 ：
CN202020940351.1
主分类号 ：
B01D7/00
IPC分类号 ：
B01D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D7/00
升华
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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