真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链

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摘要

本实用新型公开了一种真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链装置。铰链装置包括铰链关节以及铰链转轴；所述的铰链关节包括两个固定铰链关节以及设置在两个固定铰链关节之间的一个以上的活动铰链关节；各铰链关节中，相邻两个铰链关节的铰接端，均枢接在同一根铰链转轴上；各铰链关节的铰接端所枢接的铰链转轴之间相互平行设置；活动铰链关节呈弧形设置，且活动铰链关节的弧面均外凸于所述的活动铰链关节两端所枢接的铰链转轴的中心连线。因此，本实用新型开合时，腔室门既可以沿某一转轴伸缩，也可以沿某一转轴旋转，可实现腔室门拉伸开合与旋转开合，从而减小负载旋出空间，使设备整体结构紧凑，节省设备空间。

基本信息

专利标题：

真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020953038.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-29

授权号：

CN213573509U

授权日：

2021-06-29

发明人：

程实然郭颂刘海洋王铖熠李娜张军胡冬冬许开东

申请人：

北京鲁汶半导体科技有限公司

申请人地址：

北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

彭英

优先权：

CN202020953038.1

主分类号：

E05D3/18

IPC分类号：

E05D3/18 H01J37/32