一种MEMS单芯片集成流量温度湿度化学传感器
授权
摘要
一种MEMS单芯片集成流量温度湿度化学传感器，硅晶圆为整个器件的衬底，作为支撑结构；绝缘层板状结构，绝缘隔离金属薄膜与硅晶圆；敏感材料层设置在金属薄膜上；钝化层设置在金属薄膜上，金属焊盘为芯片的对外电学连接端子；腔室由晶圆背面或正面对其内部进行刻蚀，形成的腔室；温度传感器、气体质量流量传感器、湿度传感器和气体化学传感器集成在金属薄膜上。本实用新型的优点：湿度传感器利用在金属薄膜电阻沉积聚酰亚胺材料来制备。气体质量流量传感器通过温度传感器测试被加热的空气的流动引起的温度变化从而得出气体流量。气体化学传感器通过在金属薄膜和敏感材料层形成的电容，来对不同气体成分进行测试。成品体积小，精度高。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS单芯片集成流量温度湿度化学传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020967976.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-01
授权号 ：
CN213738599U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
黄向向杨敏道格拉斯·雷·斯巴克斯关健陈琳
申请人 ：
罕王微电子（辽宁）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼（一层）
代理机构 ：
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN202020967976.7
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81C1/00 G01D21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
