喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统
授权
摘要
本实用新型实施例涉及半导体芯片制造工艺中的废气过滤技术领域，具体而言，涉及一种喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统。该喷淋式滤酸水淋装置包括箱体、进风管道、排风管道和喷淋件。其中，箱体的空腔内设置有将空腔分隔为进风腔和排风腔的分隔板，且分隔板与箱体的底壁之间存在间隙。进风管道与进风腔连通且排风管道与排风腔连通，喷淋件从箱体的顶壁伸入进风腔并位于进风口和箱体的底壁之间。这样，能够使得喷淋件喷出的水雾对通过进风管道进入进风腔的酸气进行溶解，从而实现对酸气的过滤，以减少酸气的对外排放。
基本信息
专利标题 ：
喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020975015.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-02
授权号 ：
CN212348265U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
刘明辉马志峰田立园
申请人 ：
吉林华微电子股份有限公司
申请人地址 ：
吉林省吉林市高新区深圳街99号
代理机构 ：
成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
唐维虎
优先权 ：
CN202020975015.0
主分类号 ：
B01D53/18
IPC分类号 ：
B01D53/18 B01D53/14
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/14
通过吸收作用
B01D53/18
吸收装置；其中的液体分配器
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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