加热器支架以及加热器装置
授权
摘要

本实用新型提供一种加热器支架以及加热器装置,通过抑制或防止与加热器接触的部分的侵蚀,能够抑制或防止加热器的脱落、加热器的卷线间的短路。至少与加热器接触的部分由具有氧化铝的组成的晶体来制成加热器支架。由于能够对与加热器的接触部分赋予高耐热性以及高耐腐蚀性,因此具有氧化铝的组成的晶体优选为蓝宝石单晶。进一步地,由于能够进一步提高加热器支架的强度和耐久性以及可靠性,由此更优选由蓝宝石单晶制成加热器支架整体。进一步地,具备与由钽、钨、钼或它们的合金构成的加热器接触的所述加热器支架而构成加热器装置。

基本信息
专利标题 :
加热器支架以及加热器装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020975970.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-02
授权号 :
CN212955442U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
宫崎真行小暮公男松本康裕风间良秋市原正浩
申请人 :
安达满纳米奇精密宝石有限公司;株式会社桑尼克;佳能特机株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京聿宏知识产权代理有限公司
代理人 :
吴大建
优先权 :
CN202020975970.4
主分类号 :
C30B25/10
IPC分类号 :
C30B25/10  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长,例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/10
反应室或衬底的加热
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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