一种长条加热器生产工装
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摘要
本发明涉及一种长条加热器生产工装，包括吊具、支撑杆和U形挂件，吊具和支撑杆相连接，且支撑杆设置在吊具的下部，吊具上开设有第一通孔，反应炉旋转杆贯穿第一通孔，将长条加热器生产工装固定在反应炉中；连接螺杆贯穿支撑杆上的第二通孔和U形挂件上的第三通孔，并且连接螺杆的两端均设置有螺母，从而将两个U形挂件对称固定在支撑杆的两侧；待涂覆PBN涂层的长条加热器的两个电极分别固定在U形挂件开口端的两个壁上。本实用新型采用两个U形挂件来悬挂长条加热器，避免了单边悬挂带来的侧偏问题，保证了加热器PBN涂层的均匀性；采用锥形螺杆悬挂长条加热器电极孔的方式，有效避免了加热器的变形问题。
基本信息
专利标题 ：
一种长条加热器生产工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020979499.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-02
授权号 ：
CN212925164U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
刘汝强王殿春孙蕾吴思华
申请人 ：
山东国晶新材料有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市禹城市南环东路88号
代理机构 ：
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵龙群
优先权 ：
CN202020979499.6
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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