一种石墨舟散热装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种石墨舟散热装置,具有:台架;工作台,设置在台架的上端,工作台上设有一系列的通孔;风扇,安装在台架的下部,风扇位于工作台下方;集风罩,设置在工作台的上方,集风罩下部开口的尺寸大于工作台的尺寸;排风管,与集风罩的出风端连接,使石墨舟散热加快,冷却时间减少,生产产能增加,生产效率提高。

基本信息
专利标题 :
一种石墨舟散热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020982186.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-02
授权号 :
CN212725236U
授权日 :
2021-03-16
发明人 :
王发兵
申请人 :
安徽领特电子科技有限公司
申请人地址 :
安徽省芜湖市芜湖县安徽新芜经济开发区旗塘路与中兴五路交叉口
代理机构 :
芜湖安汇知识产权代理有限公司
代理人 :
曹政
优先权 :
CN202020982186.6
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L29/861  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-03-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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