一种电容式MEMS加速度计
授权
摘要
本实用新型公开了一种电容式MEMS加速度计，包括第一固定部，第二固定部，质量块，支撑梁，固定框架；所述第一固定部和第二固定部上分别设有的多块第一定极板和第二定极板与质量块上设有的可动极板平行交叉排列；所述第一定极板与可动极板形成电容器C1，第二定极板与可动极板形成电容器C2；所述第一定极板，第二定极板，可动极板上均设有刻蚀孔；所述质量块右端通过支撑梁与固定框架相连接。本实用新型通过在加速度计电容极板上设计一系列的刻蚀孔，使电容极板形成桁架结构，很大程度上提高了极板刚度，降低了极板因为急剧加速度信号而粘附或损坏的风险，具有极低的机械噪声，广阔的使用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种电容式MEMS加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021037658.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-09
授权号 ：
CN212031528U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
张广平白龙刘杨陈首任万育彰
申请人 ：
成都华托微纳智能传感科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市中国（四川）自由贸易试验区成都市双流区公兴街道货运大道868号仓储横一路88号附3号
代理机构 ：
北京中索知识产权代理有限公司
代理人 ：
唐亭
优先权 ：
CN202021037658.7
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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