一种二流体蚀刻集管
授权
摘要
本实用新型公开了一种二流体蚀刻集管,包括集管主体和多个喷雾装置;每个喷雾装置包括喷雾主体和喷嘴;所述喷雾主体安装在集管主体上;该喷雾主体上设有进气口和进液口;所述集管主体上设置有气体进入口和液体进入口;所述气体进入口通过气体输送管道与每个喷雾主体上的进气口连通,所述液体进入口通过液体输送管道与每个喷雾主体上的进液口连通;所述喷嘴通过可拆卸连接结构安装在喷雾主体上,所述喷雾主体在与所述喷嘴的对应位置处设置有限位槽,所述喷嘴上设置有与所述限位槽配合的配合部。本实用新型的二流体蚀刻集管在更换喷嘴时可以实现对喷嘴的安装角度进行固定,从而省去人工调节喷嘴的安装角度的时间,提高喷嘴的安装速度。
基本信息
专利标题 :
一种二流体蚀刻集管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021041546.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-08
授权号 :
CN212278554U
授权日 :
2021-01-01
发明人 :
陈宏春聂海龙陈云杨豪
申请人 :
迈德乐喷雾系统广州有限公司
申请人地址 :
广东省广州市天河区吉山村坑尾路1号C108
代理机构 :
佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杜鹏飞
优先权 :
CN202021041546.9
主分类号 :
H05K3/06
IPC分类号 :
H05K3/06
法律状态
2021-01-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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