一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟

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摘要

本实用新型公开了一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟，包括石墨舟片，所述石墨舟片设有多片，所述石墨舟片包括石墨舟片体和两端的凸耳，所述石墨舟片体上设有硅片位，所述硅片位设有多个，所述相邻的硅片位之间上端设有陶瓷梳卡槽，下端开有陶瓷杆穿插孔，所述陶瓷梳卡槽卡接陶瓷梳，所述陶瓷梳卡槽和陶瓷杆穿插孔之间分布有卡点孔，内部固定有卡点，所述凸耳上设有穿孔，所述穿孔用于安装陶瓷杆Ⅰ，所述多片石墨舟片中部通过陶瓷梳和陶瓷杆连接，两端凸耳通过陶瓷杆Ⅰ进行连接，并通过锁紧螺母锁紧陶瓷杆和陶瓷杆Ⅰ两端。本装置使用陶瓷梳代替石墨舟片上部的陶瓷杆，可以在石墨舟片总长度不变的情况下，增加硅片位的数量，提高产量。

基本信息

专利标题：

一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021077833.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-11

授权号：

CN212182288U

授权日：

2020-12-18

发明人：

余波郑方渊张华冯晓倩

申请人：

上海弘竣新能源材料有限公司

申请人地址：

上海市青浦区华新镇华腾路1288号1幢4层I区438室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021077833.5

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 C23C16/458