一种密封罩系统
授权
摘要
本申请提供一种密封罩系统，包括依次相连的半封闭腔体、密封管和抽气结构，所述半封闭腔体采用硬质板材形成，形状固定，不易变形；而且，通过将半封闭腔体与含氟化物设备之间接合，形成密封腔体，从而能够将含氟化物设备中可能出现漏气的部位罩设住，若出现氟化物泄漏，则可以通过抽气结构将密封腔体内的气体抽离，通过抽气结构末端的气体处理装置对气体进行处理，再排放到大气中，避免了含氟化物设备出现漏气，造成生产环境含氟化物浓度较高，对半导体器件，如芯片进行腐蚀，导致的芯片生产良率较低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种密封罩系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021090244.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-11
授权号 ：
CN212206514U
授权日 ：
2020-12-22
发明人 ：
李永畴
申请人 ：
泉芯集成电路制造（济南）有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
李婷婷
优先权 ：
CN202021090244.0
主分类号 ：
G01M3/28
IPC分类号 ：
G01M3/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/26
通过测量流体的增减速率，例如，用压力响应装置，用流量计
G01M3/28
用于管、缆或管状物；用于管的连接或密封；用于阀门
法律状态
2020-12-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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