一种高精密恒温环境的热补偿模块
授权
摘要
本实用新型公开了一种高精密恒温环境的热补偿模块，所述热补偿模块包括温度传感器、流量传感器、控制器、PID调节器、继电器、制冷装置和加热装置；温度传感器的信号输出端与控制器的第一信号输入端相连，流量传感器与控制器的第二信号输入端相连，控制器的第一信号输出端与PID调节器的信号输入端相连，控制器的第二信号输出端与制冷装置的信号输入端相连，控制器的第三信号输出端与加热装置的信号输入端相连。本实用新型对恒温洁净室中导致热不稳定和热不均匀的热敏感设备进行实时热补偿，使其始终处于热平衡状态，提高整个洁净室环境温度的均匀性和稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种高精密恒温环境的热补偿模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021092122.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN212538119U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
任泽峰蔡贞贞
申请人 ：
江苏博创翰林光电高科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡山经济技术开发区芙蓉中三路99号瑞云6座510室
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
金诗琦
优先权 ：
CN202021092122.5
主分类号 ：
F24F5/00
IPC分类号 ：
F24F5/00 F24F11/89 F24F13/30 F24F11/46 F24F11/64 F24F11/70 F24F3/16
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F24
供热；炉灶；通风
F24F
空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用
F24F
空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用
F24F5/00
不包含在F24F 1/00或F24F 3/00组中的空气调节系统或设备
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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