一种晶圆扫描喷嘴清洗槽
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆扫描喷嘴清洗槽，包括：槽体、设置在槽体外壁上的进液接头、设置在槽体底部的排液接头，还包括：隔膜泵，通过下排管路与所述排液接头连接。本实用新型一种晶圆扫描喷嘴清洗槽，在纯水槽溢流和下排增加一个隔膜泵保证管路处于一个弱真空的状态，从而有利于UPW的快速溢流和直排作业。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆扫描喷嘴清洗槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021130986.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-18
授权号 ：
CN213162175U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
邹志文华强侯永刚黄奔孟庆国刘杰崔虎山许开东
申请人 ：
北京鲁汶半导体科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
王美章
优先权 ：
CN202021130986.1
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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