一种半导体元器件用真空烧结装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体元器件用真空烧结装置,涉及烧结装置的技术领域。其技术要点是:包括烧结室,所述烧结室的上侧设有出烟口,所述烧结室的下端设有入料口,所述入料口的下侧设有料台,所述料台的下侧设有支撑座,所述支撑座的上端开设有滑槽,所述料台通过支撑腿滑动连接于所述滑槽内,所述支撑腿插接于所述料台的下表面,所述料台一侧的侧壁通过第一连接组件连接有第一气缸,所述料台的下表面设有第二气缸,所述第二气缸通过第二连接组件连接于所述料台。设置的料台,通过设置的第一连接组件能够将料台从一侧推到另一侧,再通过第二连接组件对料台进行升降,具有便于对料台进行移动运输的特点。
基本信息
专利标题 :
一种半导体元器件用真空烧结装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021158353.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-19
授权号 :
CN212778578U
授权日 :
2021-03-23
发明人 :
周宗辉
申请人 :
北京华芯微半导体有限公司
申请人地址 :
北京市海淀区上地信息路1号国际科技创业园2号楼1703
代理机构 :
北京维正专利代理有限公司
代理人 :
孙铭侦
优先权 :
CN202021158353.1
主分类号 :
F27B5/05
IPC分类号 :
F27B5/05 F27B5/12 F27B5/13 F27B5/06 F27D17/00 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B5/00
马弗炉;干馏炉;其他炉料完全隔绝的炉
F27B5/04
适用于在真空中或特殊气氛中处理炉料的
F27B5/05
在真空中
法律状态
2021-03-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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