一种晶圆备料间通风系统
授权
摘要
本实用新型涉及空气净化通风设备领域，尤其是涉及一种晶圆备料间通风系统。包括设置在备料间顶壁上的出风机、设置在备料间侧壁中部的抽风机、与抽风机出风口管道连接的旋风除尘器、与旋风除尘器管道连接的喷淋塔、设置在喷淋塔内的喷淋装置、设置在喷淋塔底部的沉降池、与喷淋装置管道连接的清水池、设置在清水池内的水泵。本实用新型具有通风好、空气净化佳的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆备料间通风系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021158674.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-19
授权号 ：
CN212757850U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
于润泽
申请人 ：
北京旭普科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区上地国际科技创业园2-1703
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
孙铭侦
优先权 ：
CN202021158674.1
主分类号 ：
B01D50/00
IPC分类号 ：
B01D50/00 B01D53/18
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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