一种气吸附滑台驱动自动升降机构

授权

摘要

本实用新型涉及气吸附滑台技术领域，且公开了一种气吸附滑台驱动自动升降机构，包括测量滑台，所述测量滑台的左侧面固定连接有弹性连接机构，所述弹性连接机构远离所述测量滑台的一端固定连接有驱动滑台，所述驱动滑台的左侧面固定连接有微分头调节，所述测量滑台的外表面固定连接有两个固定支架，所述固定支架的外表面安装有电机连接板。该气吸附滑台驱动自动升降机构，驱动滑台与测量滑台支架的弹性连接机构通过弹簧连接，所以驱动滑台与测量滑台相当于有一定刚性的柔性连接。当进行自动测量时，减少驱动滑台对测量滑台的影响，提高了测量准确性，驱动滑台自动升降机构的设计、实现了手自动操作的快速切换，可快速实现手动、自动的切换。

基本信息

专利标题：

一种气吸附滑台驱动自动升降机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021170009.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-22

授权号：

CN212251919U

授权日：

2020-12-29

发明人：

王曰明宋述锡梁邦远李明富孙佳卓王海川宁宇航

申请人：

青岛前哨精密仪器有限公司

申请人地址：

山东省青岛市高新区锦暄路61号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021170009.4

主分类号：

F16M11/24

IPC分类号：

F16M11/24 F16M11/04 F16M11/18