一种真空隔离阀及具有其的真空系统
授权
摘要
本实用新型提供的一种真空隔离阀及具有其的真空系统,属于真空阀门技术领域;真空隔离阀包括:阀体,具有适于连通在真空腔室的外侧壁上的开口端,阀体内滑动设置有适于通过开口端朝向真空腔室内伸入的阀板;阀座,适于设于真空腔室的内侧壁上,阀座上具有适于与真空腔室的通气孔进行连通的阀孔,阀孔适于与阀板配合进行封闭。本实用新型的阀板的移动空间为阀体以及真空腔室,阀板朝向和背离阀座移动实现对阀孔开合;阀板在移动过程中,不与外界接触,故不会扬起微尘,保证真空腔室内部的真空环境一直处于洁净状态,能够满足更高、更特殊的真空需求。
基本信息
专利标题 :
一种真空隔离阀及具有其的真空系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021172993.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-22
授权号 :
CN212297864U
授权日 :
2021-01-05
发明人 :
庞云玲冯彪张魁榜马现刚陈林
申请人 :
川北真空科技(北京)有限公司
申请人地址 :
北京市昌平区振兴路36号5楼
代理机构 :
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 :
秦广成
优先权 :
CN202021172993.8
主分类号 :
F16K31/122
IPC分类号 :
F16K31/122 F16K1/14 F16K1/32 F16K1/42 F16K41/00 F16K27/02 F16K41/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K31/00
操作装置;释放装置
F16K31/12
由流体致动
F16K31/122
流体作用在活塞上
法律状态
2021-01-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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