一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置
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摘要

本实用新型公开了一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置,包括观测台、活动杆、套杆和安装框,所述观测台底端对称焊接有两组矩形杆状空心结构的活动杆,两组所述活动杆底端均设置有套杆,所述套杆两组竖向外壁均焊接有固定块,且两组固定块平行设置,所述观测台顶端从左到右依次螺栓连接有显示屏和“凵”形结构的安装框;所述观测台顶端放置有键盘,且键盘通过导线与显示屏连接,所述安装框内部设置有矩形板状结构的放置板,且放置板顶端的中心位置开设有安装孔,安装孔内设置有烧杯,所述烧杯外周套设有固定环,且固定环外径大于安装孔外径。该硅晶圆光阻溶解过程观测装置,结构简单,适用于不同身高人员使用。

基本信息
专利标题 :
一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021184563.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-23
授权号 :
CN213050124U
授权日 :
2021-04-27
发明人 :
夏新
申请人 :
上海昶析仪器仪表有限公司
申请人地址 :
上海市奉贤区南奉公路4025号1幢217室
代理机构 :
杭州奇炬知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
贺心韬
优先权 :
CN202021184563.8
主分类号 :
B01F1/00
IPC分类号 :
B01F1/00  B01F15/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合,例如,溶解、乳化、分散
B01F1/00
溶解
法律状态
2021-04-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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