双工位水平石英舟翻转定位机构

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了双工位水平石英舟翻转定位机构，包括底座，所述底座上对称设置有轴承座，所述轴承座内均连接有转轴，所述转轴一侧传动连接有电机，所述转轴上均设置有翻转夹具，所述翻转夹具包括与转轴连接的安装座，所述安装座上通过支撑柱设置有支撑板，所述安装座上对称设置有第一气缸，所述第一气缸的输出端均设置有连接板，所述连接板外侧面上均设置有第二气缸，所述第二气缸的输出端均设置有托板，所述连接板内侧面上均设置有对称的定位块，所述翻转夹具内均设置有石英舟。本实用新型结构合理、简单，操作便捷，将硅片放置在石英舟内，通过托板以及定位块对石英舟的固定，从而使得石英舟内的硅片能够快速稳定地实现翻转，大大的提高生产的效率。

基本信息

专利标题：

双工位水平石英舟翻转定位机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021189733.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-23

授权号：

CN212161777U

授权日：

2020-12-15

发明人：

董晓清安迪

申请人：

无锡市江松科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

曹慧萍

优先权：

CN202021189733.1

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677