用于清洗机的喷淋装置
授权
摘要
本实用新型公开一种用于清洗机的喷淋装置，用于喷淋放置在承载装置上的待清洗件，喷淋装置包括安装支架和喷淋管路，喷淋管路安装于安装支架上，喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，喷淋管路用于通过喷淋孔对待清洗件与承载装置接触的区域进行清洗。上述技术方案可以解决目前在清洗硅片等待清洗件的过程中，待清洗件与承载装置相互接触的位置处容易残留药液，进而对待清洗件的良品率产生不利影响的问题。
基本信息
专利标题 ：
用于清洗机的喷淋装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021192507.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-24
授权号 ：
CN212916760U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
王笑非初国超李岩王智赵宏宇
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
施敬勃
优先权 ：
CN202021192507.9
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 H01L21/67 H01L21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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