收放膜装置
授权
摘要
本申请公开了一种收放膜装置，包括放膜组件，以及与放膜组件相配合的收膜组件；放膜组件包括放膜立板、转动安装于放膜立板的放膜辊、用于驱动放膜辊转动的放膜驱动机构、转动安装于放膜立板的原料辊、安装于原料辊的第一带轮、安装于放膜立板的电磁刹车片、安装于电磁刹车片上的第二带轮，以及设于第一带轮与第二带轮之间的第一传动带。在放膜立板上设置有与原料辊相配合的电磁刹车片，因此放膜辊转动并通过原料膜拉动原料辊转动时，原料辊会受到一定的阻力，原料辊转动的速度不至于过快，放膜辊与原料辊之间的原料膜可保持张紧状态，进而使得运动至晶圆处的膜较为平整，贴膜良品率高。
基本信息
专利标题 ：
收放膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021205621.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-24
授权号 ：
CN212531576U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
程彦涂升琳杨冬
申请人 ：
东莞思沃智能装备有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖园区研发一路1号103房
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
李金伟
优先权 ：
CN202021205621.0
主分类号 ：
B65H16/02
IPC分类号 ：
B65H16/02 B65H16/10 B65H23/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索
B65H16/00
展开、放松条材
B65H16/02
支承条材辊
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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