一种基于结构超滑的并联RF MEMS开关
授权
摘要
本实用新型提出了一种基于结构超滑的并联RF MEMS开关，包括基底、驱动部件、绝缘层以及滑动部件，其中，所述驱动部件置于所述基底内部，所述驱动部件与所述基底表面平齐且保持纳米级平整；所述滑动部件具有充电电介质层，并具有原子级平整超滑面，滑动部件通过超滑面与绝缘层接触，并置于绝缘层之上；所述滑动部件能够被驱动在面内沿水平方向滑动，通过调整驱动部件与滑动部件垂直面内重叠与分离实现开关。
基本信息
专利标题 ：
一种基于结构超滑的并联RF MEMS开关
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021212126.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-28
授权号 ：
CN212587426U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
郑泉水向小健
申请人 ：
深圳清华大学研究院;清华大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区科技园高新南七道深圳清华大学研究院
代理机构 ：
深圳市惠邦知识产权代理事务所
代理人 ：
满群
优先权 ：
CN202021212126.2
主分类号 ：
H01H59/00
IPC分类号 ：
H01H59/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01H
电开关；继电器；选择器；紧急保护装置
H01H59/00
静电继电器；电附着继电器
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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