一种CVD设备尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种CVD设备尾气处理装置，包括外壳体、内层过滤装置；外壳体为筒状结构，包括盖体和罐体，盖体罐体之间活动连接；内层过滤装置为环状，内层过滤装置同轴套设于外壳体内，内层过滤装置侧壁由内至外依次为吸附过滤层、精密过滤器层；本发明将尾气处理前置，有利于减少进入真空泵的氯化铵颗粒，减少真空泵卡死机率，避免故障造成的停产损失；利用先催化、吸附后过滤的双重过滤方式，有效减少氯化铵颗粒的形成及进入真空泵的杂质量，并且方便将过滤器取出更换，大大延长清理周期及清理工作量；由于本装置对尾气有效的进行处理，可有效减少后端尾气处理装置的处理量，节约尾气处理设备运行成本。
基本信息
专利标题 ：
一种CVD设备尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021215366.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-28
授权号 ：
CN212915174U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
刘汝强王殿春宋琪周清波
申请人 ：
山东国晶新材料有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市禹城市南环东路88号
代理机构 ：
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵龙群
优先权 ：
CN202021215366.8
主分类号 ：
B01D53/86
IPC分类号 ：
B01D53/86 B01D53/68 B01D53/58 B01D46/24 B01D46/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/86
催化方法
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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