一种真空涂层设备用模块化加热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空涂层设备用模块化加热装置，包括真空室和若干位于真空室上的加热装置，每个加热装置均包括加热器、加热器挡板、螺母挡板、保护套、航空插头、拧紧螺丝，加热器位于真空室内部，加热器与真空室内部相接触处设有加热器挡板，真空室的室壁上开设有穿孔，保护套设有外螺纹的一端部分穿过穿孔与加热器挡板固定连接、位于真空室外的部分螺纹连接有螺母挡板，螺母挡板上开设有若干第一螺纹孔，第一螺纹孔内均螺纹连接有拧紧螺丝，拧紧螺丝与真空室外侧壁相抵；保护套连接有航空插头，航空插头与加热器相连接。本实用新型具有方便拆卸加热器、加热器接线更加安全、加热器可以设为统一大小方便多台真空设备互换的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种真空涂层设备用模块化加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021225828.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212519461U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
卢国英石昌仑兰睿
申请人 ：
常州夸克涂层科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城大连理工大学常州研究院科技产业大厦B座218-219
代理机构 ：
大连理工大学专利中心
代理人 ：
梅洪玉
优先权 ：
CN202021225828.4
主分类号 ：
H05B3/40
IPC分类号 ：
H05B3/40 C23C14/00
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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