一种合成炉系统及合成炉烘炉氮气回收生产线
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摘要
本实用新型公开了一种合成炉系统及合成炉烘炉氮气回收生产线。该合成炉烘炉氮气回收生产线包括合成炉；所述合成炉的出气口依次串接且连通有过滤器、氮气冷却器和氮气压缩机；所述氮气压缩机的出气口通过尾气管道连通于合成炉的进气口。该合成炉烘炉氮气回收生产线随氮气烘炉和添加硅粉工序启用，过滤器、氮气冷却器和氮气压缩机依次串联后，两端分别连接于合成炉的进气口和出气口，从而将合成炉的出气口排放的气体经过滤、冷却和压缩后处理成合格的氮气，再度送至合成炉的进气口，实现氮气在合成炉内的循环利用。因氮气得以循环利用，因此降低了外界向合成炉供给氮气的总量和流量，降低了合成系统的公用工程的负荷，也降低了合成炉向外界排放氮气的总量。
基本信息
专利标题 ：
一种合成炉系统及合成炉烘炉氮气回收生产线
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021257764.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-01
授权号 ：
CN212581529U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
钟建伟袁中华游书华彭中殷万朋
申请人 ：
内蒙古通威高纯晶硅有限公司
申请人地址 ：
内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区荣华大街1号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹君君
优先权 ：
CN202021257764.6
主分类号 ：
C01B33/107
IPC分类号 ：
C01B33/107 C01B21/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/08
含卤素的化合物
C01B33/107
卤化硅烷
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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