一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台
授权
摘要
本实用新型属于纳米扫描平台技术领域，尤其涉及一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，包括平台X轴、平台Y轴、平台Z轴、X轴菱形放大机构、Y轴菱形放大机构、Z轴铰链、X轴压电陶瓷、Y轴压电陶瓷、Z轴压电陶瓷、平台动态机构、X轴静态板、Y轴静态板、X轴传感器、Y轴传感器和Z轴传感器，所述平台动态机构包括中心圆环、X轴解耦铰链、Y轴解耦铰链、正方形框架、X轴挡板、Y轴挡板、X轴动态板和Y轴动态板。为了使纳米扫描平台设计尺寸缩小、使X轴和Y轴方向平动时平台动态机构不会产生旋转，本实用新型提供一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台。
基本信息
专利标题 ：
一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021261186.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-02
授权号 ：
CN212324014U
授权日 ：
2021-01-08
发明人 ：
张莹文杰贾静
申请人 ：
三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请人地址 ：
天津市武清区开发区福源道北侧创业总部基地C21号楼
代理机构 ：
天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王力强
优先权 ：
CN202021261186.3
主分类号 ：
H02N2/04
IPC分类号 ：
H02N2/04 H02N2/02 G12B5/00
法律状态
2021-01-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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