一种碳化硅晶圆无尘存放装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种碳化硅晶圆无尘存放装置，包括第一输送带及存放室，第一输送带的上方设有毛刷辊及吹气管，存放室内设有第一升降输送装置及存放架，存放室设有进入口，第一输送带通过进入口与所述第一升降输送装置的一端连接，第一升降输送装置的另一端与存放架的一端连接，存放架设有若干个存放腔，升降输送装置可升降与存放腔连接，本实用新型可对晶圆进行除尘输送、无尘存放的碳化硅晶圆无尘存放装置。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅晶圆无尘存放装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021303712.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-06
授权号 ：
CN213010074U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
莫景钊叶纬莫景新
申请人 ：
广东唯是晶圆科技有限公司
申请人地址 ：
广东省江门市新会装备产业园大泽园区办公楼101室
代理机构 ：
北京卓特专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
段宇
优先权 ：
CN202021303712.8
主分类号 ：
B65G1/04
IPC分类号 ：
B65G1/04 B08B1/02 B08B1/00 B08B5/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G1/00
在仓库或库房内贮存单个的或顺序布置的物件
B65G1/02
贮存装置
B65G1/04
机械的
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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