一种可移动的晶圆检测显微镜组
授权
摘要
本实用新型公开了一种可移动的晶圆检测显微镜组，包括机架及数码显微镜，机架设有连接机架两侧的横向导轨，横向导轨上设有固定块，固定块可沿横向导轨横向移动，固定块连接有竖向导轨，竖向导轨设有安装块，安装块可沿竖向导轨竖向移动，数码显微镜与安装块固定连接，安装块的下方设有用于放置晶圆的承托盘，承托盘底部中心与旋转电机连接，旋转电机驱动成托盘转动，本实用新型可实现晶圆的自动化检测，效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种可移动的晶圆检测显微镜组
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021304598.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-06
授权号 ：
CN212483973U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
莫景钊叶纬莫景新
申请人 ：
广东唯是晶圆科技有限公司
申请人地址 ：
广东省江门市新会装备产业园大泽园区办公楼101室
代理机构 ：
北京卓特专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
段宇
优先权 ：
CN202021304598.0
主分类号 ：
G02B21/00
IPC分类号 ：
G02B21/00 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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