一种蓝膜良品芯片计数器
授权
摘要
本实用新型属于半导体晶圆制造领域,具体涉及一种蓝膜良品芯片计数器,包括检测箱、显示器,所述检测箱包括晶圆放置台、扫描仪、控制主板,所述检测箱的底部设有开口,所述开口内设有晶圆放置台,所述检测箱内部一侧设有扫描仪,所述扫描仪包括红外线发射器、扫描器、图像处理器,所述扫描器与图像处理器相连接,所述扫描仪的上方设有控制主板,所述控制主板包括控制器、储存器,所述控制器与所述储存器、红外线发射器、扫描器、图像处理器、显示器分别连接,本实用新型无需人工检测,可以自动识别每种芯片中的劣品芯片和良品芯片,从而计算得出每种芯片在晶圆上的总良品数量。
基本信息
专利标题 :
一种蓝膜良品芯片计数器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021306142.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-07
授权号 :
CN212624130U
授权日 :
2021-02-26
发明人 :
汪良恩汪曦凌李建利
申请人 :
安徽芯旭半导体有限公司
申请人地址 :
安徽省池州市经济技术开发区凤凰大道98号
代理机构 :
上海华诚知识产权代理有限公司
代理人 :
章胜强
优先权 :
CN202021306142.8
主分类号 :
G06M1/10
IPC分类号 :
G06M1/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06M
计数机构;其对象未列入其他类目内的计数
G06M1/00
一般应用的结构特征
G06M1/08
用于执行驱动的
G06M1/10
应用电或磁装置的
法律状态
2021-02-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载