具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器
授权
摘要
本实用新型提供一种具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层，压力敏感单元包括应力敏感膜、多个压敏电阻以及多根引线，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔；应力敏感膜设置在衬底的第一表面上，多个压敏电阻设置在应力敏感膜背离衬底的一侧，并且，多个压敏电阻平行间隔设置，多个压敏电阻通过多根引线电连接形成多平行环形惠斯通电桥；绝缘钝化层设置在压力敏感单元背离衬底的一侧，绝缘钝化层上设置有贯穿其厚度的多个金属化过孔；导线层设置在绝缘钝化层背离衬底的一侧，导线层通过金属化过孔与对应的引线电连接。可以有效提高器件的线性度和灵敏度。
基本信息
专利标题 ：
具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021310407.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-07
授权号 ：
CN212458728U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
李维平兰之康李晓波
申请人 ：
南京高华科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市经济开发区栖霞大道66号
代理机构 ：
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 ：
李明
优先权 ：
CN202021310407.1
主分类号 ：
G01L1/20
IPC分类号 ：
G01L1/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化；应用动力电池，即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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