一种固态断路器，包括串联在主回路中的主开关单元和功率器件开关单元，分别与主回路连接的电流采集模块和电压采集模块，分别与主开关单元、功率器件开关单元、电流采集模块和电压采集模块连接的控制模块，闭合时控制模块先控制主开关单元闭合，然后控制功率器件开关单元导通，断开时控制模块先控制功率器件开关单元截止，然后控制主开关单元断开，所述功率器件开关单元包括功率器件开关，所述固态断路器具有软启动功能，在负载启动时，控制模块驱动功率器件开关的导通角逐步增大实现软启动，用于保障电机等非阻性负载的启动。